Vakum ölçümü, vakum teknolojisinin önemli bir bileşenidir. Vakum derecesini ölçmek için kullanılan alete vakum ölçer denir.
Vakum fırınları ve vakumlu eritme fırınları için yaygın olarak kullanılan vakum göstergeleri arasında termokupl vakum göstergeleri, iyonizasyon vakum göstergeleri vb. yer alır. Çalışma prensipleri aşağıdaki gibidir:
(1) Termokupl vakum ölçer
Termokupl vakum ölçer hassas bileşenlerden, termokupl göstergelerden ve ölçüm cihazlarından oluşur. Termokupl gösterge tüpü, bir cam tüp dış kabuğu ve tüpün içindeki ısıtma telleri ve termokupl telleri ile test edilen vakum sistemine bağlanır. Termokupl telinin soğuk ve sıcak uçları arasındaki sıcaklık farkından dolayı devrede termoelektrik potansiyel üretilir. Isıtma telinin voltajı sabit kalırsa, termokupl telinin potansiyeli ısıtma telinin sıcaklığı ile sınırlıdır ve ısıtma telinin sıcaklığı, ölçülen gazın basıncıyla ilişkilidir. Düşük basınç, düşük gaz termal iletkenliği, gaz tarafından taşınan daha az ısı, daha yüksek ısıtma teli sıcaklığı ve termokupl telinin artan termoelektrik potansiyeli; Tam tersine termoelektrik potansiyel azalır. Devredeki termoelektrik potansiyel bir milivolt metre kullanılarak ölçülür ve metredeki milivolt, vakum seviyesini yansıtır. Isıtma telinin voltaj stabilitesini sağlamak için stabil bir güç kaynağı bağlandı. Dolayısıyla ölçüm cihazı, termoelektrik potansiyeli ölçmek için bir milivolt metreden ve regüle edilmiş bir ısıtma teli ile stabilize edilmiş güç kaynağından oluşur.
(2) İyonizasyon vakum göstergesi
Bu tip vakum ölçer esas olarak yüksek vakum seviyelerini ölçmek için kullanılır. Düşük basınçlı ve güçlü gazlarda, gaz moleküllerinin iyonlaşması sonucu oluşan pozitif iyonların sayısı, gaz basıncıyla doğru orantılıdır. Farklı iyonizasyon yöntemlerine göre, gazı iyonize etmek amacıyla elektronları yaymak için sıcak katot kullanan bir vakum ölçere, sıcak katot iyonizasyon vakum ölçer denir; Bunlar arasında sıcak katot iyonizasyon vakum ölçer, bir sıcak katot ölçer ve ölçüm cihazlarından oluşur. Ölçüm cihazı, düzenlenmiş bir çalışma güç kaynağından, bir emisyon akımı dengeleyicisinden, bir iyon akımı ölçüm amplifikatöründen ve diğer bileşenlerden oluşur. Sıcak katot iyonizasyon göstergesi test edilen vakum sistemine bağlanır. Sıcak katot iyonizasyon göstergesi, içinde katot, geçit ve toplayıcı bulunan bir transistördür. Katodik elektronegatif potansiyele göre polar potansiyeli toplayın; Kapının katoda göre pozitif bir potansiyeli vardır. İyonizasyon göstergesi elektriklendiğinde ve ısıtıldığında katot, kapıya ulaşma işlemi sırasında gaz molekülleriyle çarpışan elektronlar yayar ve bu da pozitif iyonların ve elektronların iyonlaşmasına neden olur. Emisyon akımı sabit olduğunda, günlük pozitif iyonların sayısı ölçülen gazın basıncıyla doğru orantılıdır. Pozitif iyonlar toplama elektrotu tarafından toplanıp ölçüm devresi tarafından güçlendirildikten sonra, ölçülecek vakum derecesi (kutu fırın) gösterge elektrik sayacı tarafından okunabilir.
(3) Kompozit vakum ölçer
Genellikle düşük ve yüksek vakumu ölçmek için tek bir vakum ölçer kullanılamaz, ancak iyonizasyon ve termokupl kompozit vakum ölçerler daha yaygın olarak kullanıldığından kompozit bir vakum ölçer kullanılmalıdır. Ölçüm aralığı 13.33-666.6 × 10-8Pa'dır. Bir termokupl vakum ölçer kullanılarak (10-10-10-3) x 133,32Pa'da düşük vakumun ölçümü; İyonlaşma vakum ölçer 133,32 × 10-3-666,6 × 10-8Pa'lık yüksek bir vakumu ölçer. Kompozit vakum ölçer, sırasıyla vakum sistemine bağlanan bir termokupl ölçer ve bir iyonizasyon ölçer ile donatılmıştır. İki gösterge bir düğme ile ayrı ayrı ısıtılabilir ve kullanım için seçilebilir.